Sensor de TOC em semicondutores

Sensor de TOC em semicondutores

Em uma planta de semicondutores, a estabilidade elétrica da água ultrapura (UPW – Ultra Pure Water) é uma condição operacional contínua, não um atributo verificado pontualmente. A água entra diretamente em lavagem de wafers, enxágues químicos, diluição de reagentes e limpeza final de superfícies com geometrias abaixo de dezenas de nanômetros, e qualquer alteração em suas propriedades elétricas compromete etapas críticas do processo. A menor presença de carbono orgânico dissolvido modifica a resistividade da água, favorece reações parasitas, altera interfaces químicas e pode gerar defeitos irreversíveis nos dispositivos. Nesse contexto, o carbono orgânico total – TOC é o parâmetro de fundo, mas a operação diária depende de indicadores indiretos capazes de reagir antes que o dano ocorra.

Condutividade como indicador antecipado de contaminação orgânica

Embora o controle final esteja associado ao TOC, a rotina operacional das fábricas não pode depender exclusivamente de analisadores laboratoriais. Em sistemas UPW, a condutividade elétrica se estabelece como um dos principais indicadores operacionais contínuos de contaminação orgânica, iônica ou microbiológica incipiente. A liberação de subprodutos orgânicos de resinas, a formação inicial de biofilmes, a contaminação cruzada ou falhas em unidades de oxidação elevam o TOC e, de forma correlata, reduzem a capacidade da água de manter resistividade elevada. O aumento da condutividade funciona, portanto, como sinal de alarme antecipado, permitindo identificar deteriorações da qualidade da água antes que o processo seja afetado.

O desafio técnico em níveis extremos de pureza

O problema técnico não está em medir condutividade em faixas convencionais, mas em fazê-lo em um ambiente de baixíssimo teor iônico, com temperaturas estabilizadas, exigência de resposta rápida e integração direta com sistemas supervisórios. Em níveis tão baixos de sais dissolvidos, pequenas variações térmicas, ruído elétrico ou incrustação mínima nos eletrodos podem mascarar tendências reais ou gerar alarmes falsos. Além disso, a operação exige monitoramento online contínuo, sem recalibrações frequentes ou intervenções manuais, pois qualquer atraso na detecção de desvios pode resultar em descarte de lotes inteiros de wafers, perdas financeiras elevadas e não conformidade com padrões industriais do setor microeletrônico.

Faixa crítica de medição e limites definidos pelo processo

Para água ultrapura em semicondutores, a condutividade relevante não é uma faixa ampla, mas uma janela extremamente estreita, tipicamente próxima de 0,055 µS/cm a 25 °C, equivalente a cerca de 18,2 MΩ·cm de resistividade. Variações da ordem de centésimos de microsiemens já indicam entrada de íons ou compostos orgânicos ionizáveis, frequentemente associados ao aumento de TOC. Não há, na legislação ambiental brasileira, limites específicos de condutividade ou TOC para UPW industrial, pois trata-se de requisito de processo, não de descarte. Os limites são definidos por padrões técnicos do setor e pela engenharia de processo da planta, e desvios acima dessa faixa sinalizam falhas em polimento final, troca de resinas, integridade de membranas ou início de crescimento biológico.

Inserção do sensor na lógica operacional do sistema UPW

É nesse cenário que o sensor digital de condutividade C4E da Aqualabo se insere como parte integrante da estratégia de proteção do processo. Atuando diretamente no monitoramento contínuo da condutividade, ele fornece dados estáveis para o controle indireto do TOC, sem se apresentar como um bloco isolado de produto. Sua tecnologia de 4 eletrodos, operando com corrente alternada e tensão constante, é especialmente relevante em aplicações onde interferências mínimas podem mascarar desvios reais. A medição simultânea de condutividade e temperatura, com compensação térmica integrada, é fundamental em UPW, onde variações térmicas impactam diretamente o valor medido.

Continuidade operacional e integração com controle avançado

A arquitetura digital do C4E, com armazenamento interno dos dados de calibração, reduz a necessidade de intervenções frequentes e permite uma operação plug & play, alinhada à filosofia de disponibilidade contínua exigida por fábricas de semicondutores. A comunicação Modbus RS485 em protocolo aberto viabiliza a integração direta com sistemas SCADA e plataformas de controle avançado, permitindo correlação em tempo real entre condutividade, etapas do processo e desempenho das unidades de remoção de TOC. Assim, a medição deixa de ser apenas um valor isolado e passa a compor a lógica de controle da planta.

Impactos diretos na estabilidade do processo e no rendimento fabril

A aplicação do C4E em sistemas de UPW permite a detecção precoce de desvios associados ao aumento de TOC, antes que se tornem críticos para a qualidade do wafer. Isso viabiliza ações corretivas rápidas, como ajuste de unidades de polimento, regeneração de resinas ou inspeção de pontos de contaminação. O baixo consumo de energia é compatível com instalações extensas, com dezenas de pontos operando continuamente, enquanto a robustez construtiva e o grau de proteção IP68 asseguram confiabilidade em ambientes industriais rigorosos. A estabilidade da medição reduz alarmes falsos, melhora a tomada de decisão e evita paradas desnecessárias.

Condutividade como ferramenta estratégica de proteção do processo

No ambiente da microeletrônica, o controle de TOC em água ultrapura exige mais do que análises pontuais: requer monitoramento contínuo, sensível e estável de parâmetros indiretos críticos. Quando medida com precisão, a condutividade elétrica se transforma em uma ferramenta operacional de proteção do processo, sustentando a qualidade da água e a confiabilidade fabril. Integrado ao sistema UPW, o sensor C4E da Aqualabo, com sua tecnologia de 4 eletrodos, compensação térmica e comunicação digital aberta, atende às exigências práticas desse ambiente. Em uma operação onde cada centésimo de microsiemens importa, a escolha do sensor deixa de ser apenas técnica e se torna estratégica para a sustentabilidade, competitividade e rendimento da planta.

Sensor Digital C4E

Sensor Digital C4E

C4E

O sensor C4E utiliza um sistema de 4 eletrodos com corrente alternada e tensão constante. Essa tecnologia garante leituras precisas de condutividade e salinidade na maioria das aplicações de água, mesmo em condições desafiadoras.

  • Medição simultânea de condutividade, salinidade e temperatura

  • 4 faixas de medição + 1 faixa automática

  • Baixo consumo de energia

  • Comunicação digital Modbus RS-485 (protocolo aberto)

  • Protocolo de comunicação aberto (MODBUS RTU RS-485 ou SDI-12)

  • Sensor com consumo de energia muito baixo

Tem dúvidas sobre calibração, manutenção, integração ou suporte técnico?

FAQ – C4E

A temperatura é um fator que afeta a medição de condutividade da água?

Sim. A temperatura influencia diretamente a condutividade da água. Por isso, os sensores de condutividade deste tipo contam com compensação automática de temperatura para garantir resultados precisos.

A tecnologia digital permite armazenar os dados de calibração no próprio sensor, o que reduz a necessidade de recalibrações frequentes. A manutenção usual inclui limpeza dos eletrodos, verificação de danos e calibração periódica, especialmente em ambientes com maior incrustação.

 

Sim. O conjunto sensor + eletrônica é projetado para operação em ambientes agressivos, com grau de proteção IP68 e materiais robustos para aplicações em diferentes tipos de água.

 

O sistema de 4 eletrodos melhora a precisão em relação a células de 2 eletrodos, reduzindo efeitos de incrustação e polarização. Isso garante medições confiáveis em águas residuais, água potável e outros processos industriais.

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